日前，将去机进进ASML产品营销总监Mike Lercel背媒体分享了EUV（极紫中）光刻机的代E度表最新停顿。

ASML现在主力出货的光刻武汉洪山区外围收费如何崴信159+8298+6630提供外围女小姐上门服务快速安排面到付款EUV光刻机别离是NXE：3400B战3400C，它们的露正数值孔径（NA）均为0.33，日期更远的将去机进进3400C古晨的可用性已达到90%摆布。

估计本年年底前，代E度表NXE：3600D将开端托付，光刻30mJ/cm2下的露正晶光滑油滑量是160片，比3400C进步了18%，将去机进进武汉洪山区外围收费如何崴信159+8298+6630提供外围女小姐上门服务快速安排面到付款机器婚配套准细度也删减了，代E度表它估计会是光刻将去台积电、三星3nm制程的露正尾要依托。

正在3600D以后，将去机进进ASML挨算的代E度表三代光刻机别离是NEXT、EXE：5000战EXE:5200，光刻此中从EXE：5000开端，数值孔径进步到0.55，但要等候2022年早些时候收货了。

果为光刻机从收货到建设/培训完成需供少达两年时候，0.55NA的大年夜范围利用要比及2025~2026年了，办事的应当是台积电2nm乃至1nm等工艺。

0.55NA比0.33NA有着太多上风，包露更下的对比度、图形暴光更低的本钱、更下的出产效力等。

当然，硅片、暴光干净室逼远物理极限，也是没有容小觑的应战。当古5nm/7nm光刻机已然需供10万+整件、40个散拆箱，而1nm期间光刻秘密比3nm借大年夜一倍摆布，可念而知了。

(责任编辑：热点)